هگزافلورواتان

هگزافلوئورواتان (C2F6) یک ترکیب فلوئوروکربنی اشباع و کاملاً فلوئوردار است که به صورت گازی بی رنگ، بی بو، غیر قابل اشتعال و غیرسمی در شرایط استاندارد ظاهر می شود. هگزافلوئورواتان به عنوان یک گاز ویژه الکترونیکی حیاتی، به دلیل پایداری شیمیایی استثنایی و گزینش پذیری عالی در حکاکی، ارزشمند است که آن را در ساخت نیمه هادی و میکروالکترونیک ضروری می کند. هگزافلوئورواتان با خلوص بالا-ما که از طریق فرآیندهای تصفیه دقیق تولید می‌شود، نیازمندی‌های دقیق برنامه‌های الکترونیکی پیشرفته را برآورده می‌کند که در آنها خلوص-بالا و حداقل ناخالصی مهم است.

در فرآیندهای مبتنی بر پلاسما، هگزافلوئورواتان برای تولید رادیکال‌های فلوئور (F*) و یون‌های مختلف CFx تجزیه می‌شود. این به آن اجازه می دهد تا در درجه اول به صورت زیر عمل کند:

1. A Precision Etchant: حکاکی ناهمسانگرد سیلیکون، پلی سیلیکون، و فیلم های دی الکتریک مختلف را با گزینش پذیری بالا و کنترل پروفایل امکان پذیر می کند.

2. یک عامل تمیز کننده محفظه: به طور موثر باقی مانده های مبتنی بر سیلیکون- را از رسوب بخار شیمیایی (CVD) و فضای داخلی اتاقک اچ بدون آسیب رساندن به اجزای محفظه پاک می کند.

3. گاز حامل/رقیق کننده: می تواند برای تعدیل و تثبیت شیمی پلاسما در مخلوط های گازی استفاده شود.

یک کارخانه ریخته گری نیمه هادی پیشرو با ما همکاری کرد تا فرآیند اچ حفره تماس تراشه منطقی 28 نانومتری خود را بهینه سازی کند، که با چالش هایی با ناهمواری دیواره جانبی و یکنواختی اچ مواجه شد. ما یک مخلوط گازی مبتنی بر هگزافلوئورواتان{2} (با O2 و Ar) سفارشی‌سازی کردیم که برای ابزار اچ خاص آنها (Applied Materials Centura) طراحی شده است. ما 99.9995% هگزافلورواتان با خلوص فوق العاده-بالا-با ناخالصی های فلزی عرضه کردیم<5 ppb and implemented a real-time gas monitoring system. This collaboration resulted in a 40% reduction in sidewall roughness (from 5.2nm to 3.1nm), improved within-wafer uniformity from ±8% to ±4%, and enhanced critical dimension control by 25%. The successful gas formulation was adopted as their standard process, contributing to a 3.2% increase in production yield and establishing a joint development framework for sub-10nm node etch solutions. This case highlights how our high-purity hexafluoroethane and application expertise directly enable advanced manufacturing.